檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Li-Chyong Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沈積"
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本研究利用有機金屬化學氣相沈積方式,以三甲基鎵(TMGa)及氨氣(NH3)為原料,分別使用鍍上金觸媒的Si(111)、Ge奈米線及ZnO奈米柱為基材來沈積氮化鎵。在鍍上1 nm厚度金觸媒於Si(11…